根据海关总署公布数据，2024年3月中国“制造半导体器件或集成电路用的机器及装置”进口992台，货值32.2亿美元，进口数量同比增加2.4%，进口货值同比大幅增长102% 。每台均单价324.5万美元，较去年3月的均单价163万美元，猛增99.1%。1-3月，我国“制造半导体器件或集成电路用的机器及装置”进口2704台，金额77.6亿美元，同比分别增长13%和90.9%。24年1月以来，中国进口的制造半导体器件或集成电路用的机器及装置均单价明显提升，前2月均单价265万美元，比2023年同期的173万美元大幅增长53%，高端化趋势明显。